Mg_xZn_1-xO：Al靶材制备工艺和Mg掺杂对微观结构的影响研究

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• 出版年：2009
• 作者：黄竹；王华；许积文；杨玲；任明放
• 单位1：桂林电子科技大学信息材料科学与工程系
• 出生年：1983
• 学历：硕士生
• 语种：中文
• 作者关键词：Mg_xZn_1-xO：Al靶材；预烧；Mg含量；烧结工艺；微观结构
• 起始页：95
• 总页数：4
• 经费资助：广西教育厅基金（桂教科研200734）
• 刊名：材料导报
• 是否内版：否
• 刊频：半月刊
• 创刊时间：1987
• 主管单位：科学技术部
• 主办单位：科学技术部西南信息中心
• 主编：张明
• 地址：重庆市渝北区洪湖西路18号
• 邮编：401121
• 电子信箱：matzhubian@gmail.com；mat-rev@163.com；matreved@163.com；maeditor@gmail.com
• 网址：http://www.mat-rev.com
• 卷：23
• 期：16
• 期刊索取号：P822.06 432
• 数据库收录：全国中文核心期刊；中国科学引文数据库来源期刊；中国科技论文统计源期刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

以纳米级的ZnO、MgO和Al₂O₃粉体为原料，经过湿式球磨得到了混合粉体，采用常压固相烧结的方法制备了高致密度Mg_xZn_1-xO：Al陶瓷靶材，研究了预烧粉体、Mg掺杂量和烧结温度对靶材微观结构和性能的影响。研究表明，预烧粉体可以减少第二相的生成；随着Mg掺杂量的增加，MgO立方相逐渐增多，在x=0.3时产生了相分离；在1100～1300℃内，随着烧结温度的升高，靶材的晶粒大小和密度逐渐增大，增大趋势在1300℃后变缓，1300℃烧结4h可以制得结构均匀、高致密度的Mg_xZn_1-xO：Al靶材。