熔盐电脱氧制多晶硅过程电流效率的影响因素

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• 出版年：2009
• 作者：廖勇；张胜涛；白晨光；栗晓；顾安妍；施瑞盟
• 单位1：重庆大学化学化工学院
• 出生年：1977
• 学历：博士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：熔盐电解；电流效率；多晶硅
• 起始页：81
• 总页数：3
• 经费资助：国家科技部“973计划”资助项目（2007CB613801）
• 刊名：材料导报
• 是否内版：否
• 刊频：半月刊
• 创刊时间：1987
• 主管单位：科学技术部
• 主办单位：科学技术部西南信息中心
• 主编：张明
• 地址：重庆市渝北区洪湖西路18号
• 邮编：401121
• 电子信箱：matzhubian@gmail.com；mat-rev@163.com；matreved@163.com；maeditor@gmail.com
• 网址：http://www.mat-rev.com
• 卷：23
• 期：16
• 期刊索取号：P822.06 432
• 数据库收录：全国中文核心期刊；中国科学引文数据库来源期刊；中国科技论文统计源期刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

电流效率是熔盐直接电解脱氧制备多晶硅的一项重要指标，它涉及到电解槽的产量和电耗。如何提高熔盐电解的电流效率对多晶硅的单位时间产量、降低单位电耗等具有重要意义。采用CaCl₂为电解质、SiO₂粉末压制片为阴极及自制石墨棒为阳极进行了实验研究。在具体实验中测定了制备多晶硅过程中电流效率随电解时间、温度、电流密度及电极间距的变化关系。结果表明，当电解时间为6～10h、电解温度为800～900℃、电流密度为0.78～1.20A/cm²、电极间距为4～7cm时，电解效率较高。