Ti6Al4V表面磁控溅射NiCoCrAIY涂层的组织及性能

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• 出版年：2010
• 作者：王宝云；李争显；严鹏；王彦峰；姬寿长
• 单位1：西北有色金属研究院
• 出生年：1974
• 职称：工程师
• 语种：中文
• 作者关键词：钛合金；抗氧化；磁控溅射；MCrAlY；涂层
• 起始页：26
• 总页数：4
• 刊名：表面技术
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主管单位：中国兵器装备集团公司
• 主办单位：中国兵器工业第五九研究所；中国兵工学会防腐包装分会；中国兵器工业防腐包装情报网
• 主编：吴护林
• 地址：重庆市九龙坡区石桥铺渝州路33号
• 邮编：400039
• 电子信箱：wjqkbm@163.com
• 网址：http://www.bmjs2007.com；http://bmjs.chinajournal.net.cn
• 卷：39
• 期：1
• 期刊索取号：P872.06 141
• 数据库收录：中国中文核心期刊；中国科技核心期刊；中国科学引文数据库统计源刊；中国期刊全文数据库全文收录期刊；中国核心期刊（遴选）数据库收录期刊；中国学术期刊综合评价数据库统计源刊；《中国学术期刊（光盘版）》入编期刊；中国期刊网全文收录期刊；中文科技期刊数据库收录期刊；《中国学术期刊文摘》收录源期刊；CEPS中文电子期刊服务全文收录期刊
• 核心期刊：中国中文核心期刊；中国科技核心期刊；中国核心期刊（遴选）数据库收录期刊

摘要

为了提高钛合金的高温抗氧化能力，采用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V钛合金的表面沉积了NiCoCrAlY涂层，通过SEM，EDS和XRD分析了涂层氧化前后的物相组成和组织形貌。结果表明：长时间沉积后，受基材原始表面状态和涂层择优生长作用的影响，涂层表面有大量微米级的细小颗粒和少量直径约10μm的圆丘形突起；NiCoCrAlY涂层成分与靶材相近。NiCoCrAlY涂层明显提高了钛合金的抗氧化性能，使其氧化增重速率大大降低。经高温氧化后，涂层与基底的界面处Ti，Ni等元素发生互扩散形成过渡层，随氧化时间延长，过渡层逐渐增厚；并且受高温作用，涂层表面化合物相晶态特征有增强的趋势。