圆柱形衬底上高质量金刚石薄膜制备工艺研究

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• 出版年：2005
• 作者：马玉平；王勇；孙方宏；陈明
• 单位1：上海交通大学机械与动力工程学院
• 出生年：1975
• 学历：博士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：金刚石薄膜；偏压增强热丝CVD法；圆柱形衬底；高质量
• 起始页：26
• 总页数：4
• 经费资助：国家自然科学基金项目（50275095，50475026），国家863计划项目（2002AA302613）
• 刊名：金刚石与磨料磨具工程
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 主办单位：郑州磨料磨具磨削研究所
• 主编：王琴
• 地址：郑州市华山路121号
• 邮编：450007
• 电子信箱：diamond@371.net
• 期：3
• 期刊索取号：P666.06 836
• 数据库收录：全国中文核心期刊；中国科技论文统计源期刊；Ei收录用刊；CA收录用刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

本文以丙酮和氢气为气源，采用优化钽丝排列分布的偏压增强热丝CVD装置对钨丝衬底进行了金刚石薄膜沉积研究。采用扫描电镜（SEM）、拉曼（Raman）光谱等方法检测了金刚石薄膜的质量，分析了沉积工艺对金刚石形核和生长的影响。研究结果分析表明，当直径为1mm的钨丝与热丝之间的最佳距离为4-6mm且反应压力为4665.5Pa、碳源浓度为1.8%时可得到涂层厚度均匀又能覆盖整个钨丝外表面的高质量金刚石薄膜，为以后的自支撑的金刚石薄膜管的制备和回转体刀具的外表面金刚石涂层打下基础。