RF-PCVD法碳化钨纳米粉的制备

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• 出版年：2006
• 作者：闫波；孙彦平；王俊文；陈新谋
• 单位1：太原理工大学洁净化工研究所
• 出生年：1978
• 学历：在读硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：高频等离子体；化学气相沉积：纳米粉体；碳化钨
• 起始页：38
• 总页数：3
• 经费资助：山西省科技攻关项目(22021092)；山西省青年科技基金(200510091)
• 刊名：中国钨业
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1986
• 主管单位：中国有色金属工业协会
• 主办单位：中国钨业协会
• 主编：孔昭庆
• 电子信箱：zgwu@chinajournal.net.cn
• 网址：http://zgwu.chinajournal.net.cn
• 卷：21
• 期：4
• 期刊索取号：P421.706141
• 数据库收录：《中国期刊全文数据库》收录期刊；《中文科技期刊数据库》收录期刊；《中国核心期刊（遴选）数据库》收录期刊；《中国重要会议论文全文数据库》收录期刊；《中国科技期刊精品数据库》收录期刊；《全国自然科学技术文献数据库》收录期刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊；中国科技论文统计源期刊（中国科技核心期刊）

摘要

以WCl₆+H₂+C₂H₂为反应体系，采用高频等离子化学气相沉积法(RF-PCVD)制各了纳米级碳化钨(WC)粉体，用HRTEM（高分辨率透射显微镜）、XRD(X光衍射)表征了WC粉体的形貌和物相组成，粉体为以WC为主体、W₂C和WC_1-x的多相共存的混合体，微粒呈近球形与少量棱柱形混合体，粒径范围为50～100nm．平均粒径为70nm。