热处理对Al掺杂ZnO薄膜晶体结构及光电性能的影响

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• 出版年：2010
• 作者：刘金铭；赵小如；赵亮；张安；王丹红；邵继峰；曹萌萌；常晓
• 单位1：西北工业大学理学院应用物理系
• 出生年：1985
• 学历：硕士
• 语种：中文
• 作者关键词：溶胶-凝胶法；Al掺杂ZnO(ZAO)；热处理；晶体结构；光电性能；
• 起始页：1130
• 总页数：6
• 经费资助：国家自然科学基金(No.50872112)
• 刊名：人工晶体学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主管单位：中国建筑材料联合会
• 主办单位：中材人工晶体研究院
• 主编：沈德忠
• 电子信箱：jtxbbjb@126.com
• 网址：www.jtxb.cn
• 卷：39
• 期：5
• 期刊索取号：P311.06105
• 核心期刊：中文核心期刊；《EI》核心期刊

摘要

采用溶胶凝-胶法在普通玻璃衬底上制备了具有c轴择优取向的Al掺杂ZnO透明导电薄膜。实验中将热处理过程分解为预烧、空气退火和真空退火三个部分，研究了各个步骤对于ZAO薄膜晶体结构和光电性能的影响。结果表明，500℃预烧550℃空气退火的薄膜，经过550℃，1×10^-2Pa真空退火后，其晶体结构和光电性能达到最佳，电阻率最低达到1.77×10^-3Ω·cm，可见光范围内的平均透过率约为85%。