超声喷雾热解法制备铝掺杂氧化锌薄膜

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• 出版年：2010
• 作者：严志宸；张海明；高波；朱彦君
• 单位1：天津工业大学理学院
• 出生年：1988
• 学历：本科
• 语种：中文
• 作者关键词：Al掺杂ZnO；透明导电薄膜；超声喷雾
• 起始页：1376
• 总页数：5
• 经费资助：天津市自然科学基金(09JCYBJC04400)资助项目
• 刊名：人工晶体学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主管单位：中国建筑材料联合会
• 主办单位：中材人工晶体研究院
• 主编：沈德忠
• 电子信箱：jtxbbjb@126.com
• 网址：www.jtxb.cn
• 卷：39
• 期：6
• 期刊索取号：P311.06105
• 核心期刊：中文核心期刊；《EI》核心期刊

摘要

采用超声喷雾热解法在玻璃衬底上制作了不同浓度Al掺杂的ZnO:Al薄膜(AZO)。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、光致发光(PL)、反射光谱(Res)、四探针测试仪等测试了不同Al掺杂浓度下AZO薄膜的表面形貌、晶体结构和光学、电学性能。SEM结果表明低掺杂浓度时AZO表面致密，随着Al浓度的增加薄膜表面孔洞增多，平整度降低。XRD结果表明当n_Zn/n_Al，物质的量比为100:5时，AZO薄膜为c轴择优取向纤锌矿结构。PL谱结果表明不同浓度的Al掺杂AZO薄膜具有近带边紫外发射和深能级发射两个发射峰，且紫外发射峰随着Al³⁺浓度的增加先蓝移后红移。反射光谱表明所有样品在可见光区的反射率较低。。方阻测试结果表明当n_Zn/n_Al为100:5时，AZO薄膜具有良好的导电性。