传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器

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• 出版年：2010
• 作者：张涛；马宏伟；郭长立；张永元；杨华平
• 单位1：西安科技大学理学院
• 出生年：1977
• 学历：博士
• 职称：副教授
• 语种：中文
• 作者关键词：传输矩阵；FBAR；阻抗；谐振频率；谐振品质因数
• 起始页：251
• 总页数：4
• 经费资助：国家自然科学基金资助项目(50674075 ,10774074)；陕西省自然科学基金资助项目(2009JQ1005)
• 刊名：西安科技大学学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1981
• 主管单位：陕西省教育厅
• 主办单位：西安科技大学
• 主编：伍永平
• 网址：http://www.xust.edu.cn/xuebao
• 卷：30
• 期：2
• 期刊索取号：P706.6209
• 数据库收录：俄罗斯《文摘杂志》(P)K)收录;《中国期刊网》《中国学术期刊（光盘版）》全文收录期刊;中国科技期刊精品数据库收录期刊
• 核心期刊：《中文核心期刊要目总览》矿业工程类核心期刊

摘要

薄膜体声波谐振器( FBAR)以其工作频率高、体积小、便于集成和低插损等优良特性而得到广泛应用，对薄膜体声波器件理论设计与优化的研究成为研究热点。本文引入传输矩阵法研究薄膜体声波谐振器，利用该方法推导薄膜体声波谐振器的输入阻抗公式，并利用该公式研究了Al/AIN/Al结构的FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数。结果证明，该阻抗公式可有效的用来设计或评价FBAR的谐振频率、有效机电耦合系数和谐振品质因数等重要参数。