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Cu的腐蚀与缓蚀的光电化学研究
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  • 出版年:2008
  • 作者:徐群杰;朱律均;齐航;曹为民;周国定
  • 单位1:上海电力学院能源与环境工程学院
  • 出生年:1969
  • 职称:教授
  • 语种:中文
  • 作者关键词:Cu;光电化学;腐蚀;缓蚀剂;聚天冬氨酸
  • 起始页:1360
  • 总页数:6
  • 经费资助:国家自然科学基金项目20406009、上海市科委科技攻关计划062312045和上海市重点学科项目P1304资助
  • 刊名:金属学报
  • 是否内版:否
  • 刊频:月刊
  • 创刊时间:1956
  • 主办单位:中国金属学会
  • 主编:柯俊
  • 地址:沈阳文化路72号
  • 邮编:110016
  • 电子信箱:jsxb@imr.ac.cn
  • 网址:www.ams.org.cn
  • 卷:44
  • 期:11
  • 期刊索取号:P750.66 350
  • 数据库收录:第三届国家期刊奖
摘要
用光电化学方法研究了Cu在不同浓度NaCl的硼酸一硼砂溶液中的腐蚀以及缓蚀剂聚天冬氨酸(PASP)对Cu的缓蚀作用.Cu在硼酸硼砂缓冲溶液中,表面的Cu2O膜为p型半导体.当Cu所在的溶液中存在少量NaCl(小于0.5g/L)时,Cu表面Cu2O膜会受轻微Cl-掺杂但不会改变半导体性质;当溶液中存在较多NaCl(0.5—15g/L)时,Cu2O膜会受Cl-较严重的侵蚀,Cl-掺杂使Cu2O膜部分转成n型;当溶液中存在大量NaCl(大于15g/L)时,Cu2O膜完全被Cl-掺杂而转型成n型.缓蚀剂PASP的加入能够对Cu起到缓蚀作用:当NaCl浓度为2g/L时,PASP与溶液中的Cl-在Cu表面竞争吸附,明显抑制了Cl-对Cu2O膜的掺杂,Cu2O受到了保护仍为p型;在NaCl浓度为30g/L时,PASP与Cl-竞争吸附只能削弱Cl-对Cu2O膜的掺杂,Cu2O膜仍受Cl-掺杂而转成n型,但n型性质变弱.对Cu2O膜性质的Mott-Schottky测试结果与光电化学结果一致.

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