齿轮表面陶瓷生长工艺的研究
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摘要
齿轮系统是各种机器设备和机械装备中应用最为广泛的动力和传动形式之一。随着现代工业的发展，对大功率、高速、重载的齿轮需求的日益增加，对齿轮的性能要求不断提高。因此，研究新工艺、新材料在齿轮上的应用，提高齿轮的质量和性能，降低生产和使用成本，减少噪音，减少能源和资源消耗具有十分重要的意义，成为当前齿轮研究的重点之一。
“齿轮表面陶瓷生长工艺的研究”作为国家自然科学基金资助项目“表面陶瓷齿轮工艺与性能的研究”(编号：50105022)的组成部分，主要研究齿轮表面陶瓷的生长，实现陶瓷生长层与本体紧密结合，为高强度、高韧性、耐磨耐热、长寿命的齿轮提供重要的理论依据和试验数据。本研究主要有以下几个方面的工作：
① 对32Cr2MoV钢离子渗氮进行了研究。通过离子渗氮，提高了32Cr2MoV钢表面硬度，并形成了一定深度的硬化层，为后续的多弧离子镀氮化钛(TiN)陶瓷涂层提供了良好的支撑。
② 离子渗氮与多弧离子镀复合处理的研究，采用正交试验法，运用多弧离子镀，在32Cr2MoV钢渗氮基体上镀覆TiN陶瓷，研究多弧离子镀各工艺参数对TiN陶瓷性能的影响，优化出了一种工艺，并通过该工艺获得了性能优良的TiN陶瓷涂层。
③ 对32Cr2MoV钢、渗氮层及TiN陶瓷进行了微观结构的分析，研究其结构对整个材料性能的影响。研究了表面TiN陶瓷材料的耐腐蚀性能。
④ 对32Cr2MoV钢氮化与复合处理试样进行了滚子试验，研究其摩擦磨损性能，试验表明：材料经过复合处理后较氮化有更好的抗摩擦磨损性能。
⑤ 制备出了表面陶瓷齿轮，为研究表面陶瓷齿轮的承载能力、磨损、疲劳等性能提供了条件。
Gear transmission system is one of the most important power and transmission forms for machinery and mechanical equipment. With the development of modern industry, a demand of high-power, high velocity and heavy load gears is increasing, and the requirements of the performance of gears are emphasized. As a result, it is of great importance to study the new technology and materials' application on gears, improve the quality and performance of gears, reduce the cost of manufacture and use, decrease the noise, energy and resource comsumption. It has been emphasized on gear research currently.
"Study of Ceramic Coating Deposition on the Surface of Gears by Composite Treatment" as one of the major parts of the project (50105022) financed by National Nature Science Foundation, a detailed study is carried out on the deposition of ceramic coating on gear surface with high adhesion, and provide academic and experimental data for high intensity, high toughness, antiwear, high temper resistance gears with long life. Major works in this paper are as follows.
① Study on plasma nitridng on 32Cr2MoV steel. By plasma nitriding, the hardness of the surface of 32Cr2MoV is improved, and a hardened layer is found, which provide a good support to TiN coating deposited by Multi-arc ion plating.
② Research of plasma nitrinding and ion plating composite treatment, by orthogonal test,deposit TiN coating on the surface of 32Cr2MoV steel after plasma nitriding, the parameters of Mulit-arc ion plating are concern and the process is optimized. We can acquire TiN coatings with high performance by this means.
③ The microstructure of 32Cr2MoV steel, nitrided layer and TiN coating are analysised. The anti-corrosion of TiN coating is also investigated.
④ To explore the frictional wear performance of TiN coating a roller test with 32Cr2MoV plasma nitriding and composite treatment are implementated. The results indicate 32Cr2MoV steel has better wear resistance.
⑤ Some surface ceramic coated gears are made, which is a good start for the following research on gears.
“齿轮表面陶瓷生长工艺的研究”作为国家自然科学基金资助项目“表面陶瓷齿轮工艺与性能的研究”(编号：50105022)的组成部分，主要研究齿轮表面陶瓷的生长，实现陶瓷生长层与本体紧密结合，为高强度、高韧性、耐磨耐热、长寿命的齿轮提供重要的理论依据和试验数据。本研究主要有以下几个方面的工作：
① 对32Cr2MoV钢离子渗氮进行了研究。通过离子渗氮，提高了32Cr2MoV钢表面硬度，并形成了一定深度的硬化层，为后续的多弧离子镀氮化钛(TiN)陶瓷涂层提供了良好的支撑。
② 离子渗氮与多弧离子镀复合处理的研究，采用正交试验法，运用多弧离子镀，在32Cr2MoV钢渗氮基体上镀覆TiN陶瓷，研究多弧离子镀各工艺参数对TiN陶瓷性能的影响，优化出了一种工艺，并通过该工艺获得了性能优良的TiN陶瓷涂层。
③ 对32Cr2MoV钢、渗氮层及TiN陶瓷进行了微观结构的分析，研究其结构对整个材料性能的影响。研究了表面TiN陶瓷材料的耐腐蚀性能。
④ 对32Cr2MoV钢氮化与复合处理试样进行了滚子试验，研究其摩擦磨损性能，试验表明：材料经过复合处理后较氮化有更好的抗摩擦磨损性能。
⑤ 制备出了表面陶瓷齿轮，为研究表面陶瓷齿轮的承载能力、磨损、疲劳等性能提供了条件。
Gear transmission system is one of the most important power and transmission forms for machinery and mechanical equipment. With the development of modern industry, a demand of high-power, high velocity and heavy load gears is increasing, and the requirements of the performance of gears are emphasized. As a result, it is of great importance to study the new technology and materials' application on gears, improve the quality and performance of gears, reduce the cost of manufacture and use, decrease the noise, energy and resource comsumption. It has been emphasized on gear research currently.
"Study of Ceramic Coating Deposition on the Surface of Gears by Composite Treatment" as one of the major parts of the project (50105022) financed by National Nature Science Foundation, a detailed study is carried out on the deposition of ceramic coating on gear surface with high adhesion, and provide academic and experimental data for high intensity, high toughness, antiwear, high temper resistance gears with long life. Major works in this paper are as follows.
① Study on plasma nitridng on 32Cr2MoV steel. By plasma nitriding, the hardness of the surface of 32Cr2MoV is improved, and a hardened layer is found, which provide a good support to TiN coating deposited by Multi-arc ion plating.
② Research of plasma nitrinding and ion plating composite treatment, by orthogonal test,deposit TiN coating on the surface of 32Cr2MoV steel after plasma nitriding, the parameters of Mulit-arc ion plating are concern and the process is optimized. We can acquire TiN coatings with high performance by this means.
③ The microstructure of 32Cr2MoV steel, nitrided layer and TiN coating are analysised. The anti-corrosion of TiN coating is also investigated.
④ To explore the frictional wear performance of TiN coating a roller test with 32Cr2MoV plasma nitriding and composite treatment are implementated. The results indicate 32Cr2MoV steel has better wear resistance.
⑤ Some surface ceramic coated gears are made, which is a good start for the following research on gears.
引文
[1] 张津，程晓萍.齿轮材料及齿轮表面工程发展现状．机械工艺师．1999,(2)：36~36,32
[2] 陈爱智，张永振等．耐磨涂层材料摩擦磨损特性的研究进展．洛阳工学院学报．2001,22(2)：12~16
[3] Wallen Per,Hogmagk sture．Influence of TiN Coating on Wear of High Speed Steel at Elevated Temperature．Wear．1989,130(1)：123~135
[4] 李健，韦习成．物理气相沉积技术的新进展．材料保护．2000,33(1)：91~94
[5] 徐滨士，朱绍华等编著．《表面工程的理论与技术》．北京：国防工业出版社．1999
[6] 张津，喻奇等．高速及重载齿轮材料和热处理发展趋势．现代制造工程．2002, (7)：52~52
[7] Sundgren J E．Structure and Properties of TiN Coatings．Thin Solid Films．1985, 128：21~44
[8] Wang Y K, Xia L F,Lei T O, et al．A Research on Microstructure and Properties of (Ti,Al)N Coating．Surf. Coat. technol．1995,72：71~75
[9] 高玉芝，张利春．TiN薄膜特性及其应用．薄膜科学与技术．1989, 2(4)：37~47
[10] 徐燕申，田欣利．工程陶瓷材料加工技术的研究进展．中国机械工程．1996,7(6)：59~62
[11] 北京广用机电高技术公司.超硬膜活塞环.中国专利．95220273.5
[12] 株式会社荏原制作所. 水润滑轴承或水润滑密封件.中国专利．97109532.9
[13] 陈宝清，高洪巍．高速钢刀具多弧离子镀TiN涂层研究．真空．1990,(2)：49~59
[14] Y.Terauchi，H.Nadanot，M.Kohnot，Y.Nakamoto．Scoring resistance of TiC- and TiN-coated gears．Tribology international．1987,20(5)：248~254
[15] 阎洪．化学气相沉积层的技术和应用．稀有金属和硬质合金．1999,(1)：57~62
[16] 赵文轸．《材料表面工程导论》．西安：西安交通大学出版社．1998
[17] 胡树兵等．物理气相沉积TiN复合涂层的研究进展.材料科学与工程.2000，18（2）：110~115
[18] Y.I.Chen，J.G.Duh.TiN coatings on mild steel substrates with electroless nickel as an interlayer．Surf. Coat. Technol. 1991，48：163~168
[19] J. L. He， M. H. Hon. Sliding wear resistance of tool steel coated with electroless Ni-P and cathodic arc plasma TiN． Surf. Coat. Tehcnol.1992，53：87~92
[20] J.G.Duh,J. C.Doong．Structure, hardness and adhesion in electroless nickel interlayer modified TiN coating on mild steel．Surf. Coat. Technol.1993，56：257~265
[21] A. S. Korhonen, E. H. Sirvio, M. S. Sulonen．Plasma nitriding and ion plating with an intensified glow discharge. Thin Solid Films．1983，107：387~394
[22] Y.Sun and T.Bell.Plasma surface engineering of low alloy steel．Mater.Sci.Eng.，A140，1991：419~434
[23] M.Zlatanovic, T.Gredic, N.Popovic, Z.Bogdanov．Matching of TiN coating structures by plasma nitriding of substrates.Vacuum，1993，44：83~87
[24] 韩高荣,汪建勋.纳米复合薄膜的制备及其应用研究．材料科学与工程.1999，17（4）：5~6．
[25] 朱孝录等．齿轮的试验技术与设备．北京：高等教育出版社，1992．
[26] 郑江, 张保全.现代齿轮技术的发展与我国齿轮制造面临的问题.华北工学院学报.1997，18（1）：50~54
[27] 许洪斌等．分阶式双渐开式齿轮的光弹试验与弯曲强度试验研究.机械工程学报.2000，13（6）：39~42
[28] 荣细英,穆继光．点啮合齿轮的研制.机械工艺师.2000，（11）：30~31
[29] 明文祥．机车齿轮渗碳热处理工艺控制.热处理.1999，53（1）：34~37
[30] S.K Lyu, K.Inoue, G.Deng，M.Kato．Evaluation of Effect of Surface Treatments on Strength of Carburized Gears Based on Fracture Mechanic. JSME Journal, 1996,62:306~311
[31] 张元增．变速器渗氮齿轮制造技术的研究.传动技术.1998,12（4）：23~30
[32] 张利，杨淑荣等.钢制传动齿轮轮齿折断、塑性变形失效系统分析.机械传动.2002,
26(2):59~61
[33] 饶智红.怎样进行齿轮的失效分析.柴油机设计与制造.1997,(2),58~63
[34] 邱宣怀等．《机械设计》．北京：高等教育出版社．1998
[35] 陈红军,邱宝年.解决齿轮轮齿断裂问题的有效方法.机械传动.2002,26(3):52~53
[36] 肖宏滨,邵尔玉.表面复合强化对疲劳性能的影响.中国表面工程.1999,12(2):11~14
[37] 傅志红,张凯.齿面接触疲劳点蚀分析.株洲工学院.1995,9(3):57~60
[38] 赵菊初.渐开线直齿圆柱齿轮胶合承载能力计算.机械设计.2001,18(11):29~33
[39] 李宝良,王松年.齿轮磨损理论计算的研究.大连铁道学院学报.1993,14(3):95~98
[40] 孙振运. 齿轮塑性变形分析.汽车齿轮.1993,(4),48~50,47
[41] 张恒华,许珞萍.整体淬火和感应淬火.国外热处理.2000,21(3).13~17
[42] 刘德顺,赵西龙.小型高频机进行大模数齿轮的表面淬火.电讯工程.1994,(2):38~41
[43] 郑润娥.齿轮渗碳及渗碳材料应用.机械制造.2001,39(4):36~38
[44] 谈嘉祯，傅德明．25Cr2MoV离子渗氮齿轮疲劳强度的试验．北京科技大学学报．1994,16(3)：266~269
[45] 张津,黄奇.离子渗氮与离子镀复合处理研究.现代制造工程.2002,(10):9~11
[46] 王忠凯.汽车齿轮碳氮共渗工艺的研究.金属热处理.1998,(3):41~42
[47] 王丽莲.渗氮技术及其进展.热处理.2001,(2):6~9
[48] 李朝志.气体渗氮的新发展.国外金属热处理.1995,16(4):40~43
[49] 李建华,潘德仁.QPQ盐浴复合处理新工艺.轴承.1999,(11):28~30
[50] 刘明成,陈维英.离子渗氮技术的发展.金属热处理.1992,(5):11~13,27
[51] 梁军,卢艳君.离子渗氮技术的研究和工艺.机械设计浴制造.2001,(1)：73~74
[52] 卢旭晨等．陶瓷薄膜的制备及应用．材料导报．1999,13(6)：35~38
[53] 韩晓毅.直流二极型离子镀膜机测温装置的设计.表面技术. 1997,26(3),28~29
[54] 潘俊德,田林海.电子浴辅助阴极电弧源活性反应离子镀合成AIN薄膜.热加工工艺,
2000,(4),22~24
[55] 程敏.空心阴极离子镀膜技术.表面技术.1997,26(4),37~39
[56] 周细应, 陈凯旋. 外加磁场对多弧离子镀阴极弧源镀膜性能的影响.国外金属加工.
1993.(4).58~62
[57] Shengli Ma,Yanhuai Li,Kewei Xu．The Composite of nitrided steel of H13 and TiN coatings by plasma duplex treatment and the evvect of pre-nitriding. Surf. Coat. Technol.2001，137：116~121
[58] N.Dingremont,A.Piannelli,E.Bergmann,H.Michel．Analysis of the compatibility of plasma-nitrided steels with ceramic coatings deposited by the ion-plating technique. Surf. Coat. Technol.1993，61：187~193
[59] 郭志德等.《齿轮的失效分析》.北京：机械工业出版社.1992
[60] 周上祺 范秋林. 快速深层渗氮工艺的设计.金属热处理,1998,(3)：2~4
[61] 刘清平,曲敬信等.多弧离子镀(Ti,Cr)N膜层工艺及性能.机械工程材料, 002,26(3),20~22,40
[62] 刘渤,左演声. 遗传算法应用于多弧离子镀膜工艺优化设计. 电子工艺技术,2000,21(3)：115~117
[63] 刘国华等. 遗传算法在材料设计中的应用. 材料导报,2001,15(8)：10~12
[64] 孙荣恒,黄雯莹,伊亨云.《数理统计》. 重庆：重庆大学出版社1999
[65] 胡树兵,崔崑. 划痕试验法的物理模型及研究现状. 湖北汽车工业学院学报．
2001,15(1)：29~32
[66] Attar F, Johannesson T. Adhesion evaluation of thin ceramci coatings on tool steel using the Scratch testing technique. Surface and Coatings Technology. 1996,78,87~102
[67] Tomellini M. On the work of adhesion of film-substrate solid juctions. Thin Solid Films, 1991,202：227~234
[68] Yong SUN.Plasma nitriding and PVD ceramic coating of low alloy steel:[博士论文].
Department of Metallurgy and Materials university of Birmingham
[69] 邓洋,徐冰仲,曾耀新. 《离子氮化》初稿. 铁道部科学研究院金属及化学研究所, 1992
[70] 钟厉,韩西,周上祺. 氨流量对离子氮化层的影响. 金属热处理. 1997(9)：17~18
[71] 张津.工业纯铁及碳钢离子氮化缓冷时效的研究.[硕士学位论文].重庆：重庆大学材料科学与工程学院
[72] 吴一平等. 多弧离子沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺. 兵器材料科学与工程. 1995,18(5)：25~29
[73] 周细应,万润根等. TiN涂层的工艺分析. 南昌大学学报. 1994,16(3)：30~35
[74] 遇衍澄. 离子镀技术的发展与现状. 薄膜科学与技术. 1995,8(3)：240~249
[75] 孙伟等. 多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响. 电加工与模具. 2000,(5)：26~28
[76] 宫秀敏，叶卫平等．TiN多弧离子镀涂层质量与X射线衍射图谱．金属热处理．2000, 27(2)：13~17
[77] 周细应,万润根等．TiN涂层的正交设计工艺分析．热加工工艺．1996，(4)：22~23
[78] Volvada V．Structure of TiN Coatings．Surf. Coat. technol．1996,80：61~65
[79] 薛钰芝，林纪宁等．氮分压对TiN离子镀层影响的研究．大连铁道学院学报．1998, 19(1)：25~30
[80] Koutev J, Pascova R, Weimantel E．Arc vaporated TiN films with reduced microparticle contamination.Thin Solid Films.1996,(287)：202~207
[81] Tuma D T, Chen C L, Davies D K．Erosion products from the cathode spot region of a copper vacuuma arc．Apl. Phys. 1978,49：3821
[82] 徐新乐．多弧离子镀用于制备高质量的Ti-N膜．材料保护. 2000,33(8)：28~30
[83] 谢飞等．氮化－气相沉积硬质薄膜复合处理技术与应用．机械工艺师．1997, (7)：29~30
[84] Rickerby DS, Bull SJ．Engineering with surface coating: The role of coating microstructure．Surf. Coat. technol．1989,39-40：315~328
[85] 孙伟等．多弧离子镀TiN涂层结合力的影响因素．材料保护．2000,33(8)：31~33
[86] Wilson S,Alpas A T. TiN coating wear mechanism in dry sliding against high speed steel. Surf. Coat. Technol.1998,108-109：369~376
[2] 陈爱智，张永振等．耐磨涂层材料摩擦磨损特性的研究进展．洛阳工学院学报．2001,22(2)：12~16
[3] Wallen Per,Hogmagk sture．Influence of TiN Coating on Wear of High Speed Steel at Elevated Temperature．Wear．1989,130(1)：123~135
[4] 李健，韦习成．物理气相沉积技术的新进展．材料保护．2000,33(1)：91~94
[5] 徐滨士，朱绍华等编著．《表面工程的理论与技术》．北京：国防工业出版社．1999
[6] 张津，喻奇等．高速及重载齿轮材料和热处理发展趋势．现代制造工程．2002, (7)：52~52
[7] Sundgren J E．Structure and Properties of TiN Coatings．Thin Solid Films．1985, 128：21~44
[8] Wang Y K, Xia L F,Lei T O, et al．A Research on Microstructure and Properties of (Ti,Al)N Coating．Surf. Coat. technol．1995,72：71~75
[9] 高玉芝，张利春．TiN薄膜特性及其应用．薄膜科学与技术．1989, 2(4)：37~47
[10] 徐燕申，田欣利．工程陶瓷材料加工技术的研究进展．中国机械工程．1996,7(6)：59~62
[11] 北京广用机电高技术公司.超硬膜活塞环.中国专利．95220273.5
[12] 株式会社荏原制作所. 水润滑轴承或水润滑密封件.中国专利．97109532.9
[13] 陈宝清，高洪巍．高速钢刀具多弧离子镀TiN涂层研究．真空．1990,(2)：49~59
[14] Y.Terauchi，H.Nadanot，M.Kohnot，Y.Nakamoto．Scoring resistance of TiC- and TiN-coated gears．Tribology international．1987,20(5)：248~254
[15] 阎洪．化学气相沉积层的技术和应用．稀有金属和硬质合金．1999,(1)：57~62
[16] 赵文轸．《材料表面工程导论》．西安：西安交通大学出版社．1998
[17] 胡树兵等．物理气相沉积TiN复合涂层的研究进展.材料科学与工程.2000，18（2）：110~115
[18] Y.I.Chen，J.G.Duh.TiN coatings on mild steel substrates with electroless nickel as an interlayer．Surf. Coat. Technol. 1991，48：163~168
[19] J. L. He， M. H. Hon. Sliding wear resistance of tool steel coated with electroless Ni-P and cathodic arc plasma TiN． Surf. Coat. Tehcnol.1992，53：87~92
[20] J.G.Duh,J. C.Doong．Structure, hardness and adhesion in electroless nickel interlayer modified TiN coating on mild steel．Surf. Coat. Technol.1993，56：257~265
[21] A. S. Korhonen, E. H. Sirvio, M. S. Sulonen．Plasma nitriding and ion plating with an intensified glow discharge. Thin Solid Films．1983，107：387~394
[22] Y.Sun and T.Bell.Plasma surface engineering of low alloy steel．Mater.Sci.Eng.，A140，1991：419~434
[23] M.Zlatanovic, T.Gredic, N.Popovic, Z.Bogdanov．Matching of TiN coating structures by plasma nitriding of substrates.Vacuum，1993，44：83~87
[24] 韩高荣,汪建勋.纳米复合薄膜的制备及其应用研究．材料科学与工程.1999，17（4）：5~6．
[25] 朱孝录等．齿轮的试验技术与设备．北京：高等教育出版社，1992．
[26] 郑江, 张保全.现代齿轮技术的发展与我国齿轮制造面临的问题.华北工学院学报.1997，18（1）：50~54
[27] 许洪斌等．分阶式双渐开式齿轮的光弹试验与弯曲强度试验研究.机械工程学报.2000，13（6）：39~42
[28] 荣细英,穆继光．点啮合齿轮的研制.机械工艺师.2000，（11）：30~31
[29] 明文祥．机车齿轮渗碳热处理工艺控制.热处理.1999，53（1）：34~37
[30] S.K Lyu, K.Inoue, G.Deng，M.Kato．Evaluation of Effect of Surface Treatments on Strength of Carburized Gears Based on Fracture Mechanic. JSME Journal, 1996,62:306~311
[31] 张元增．变速器渗氮齿轮制造技术的研究.传动技术.1998,12（4）：23~30
[32] 张利，杨淑荣等.钢制传动齿轮轮齿折断、塑性变形失效系统分析.机械传动.2002,
26(2):59~61
[33] 饶智红.怎样进行齿轮的失效分析.柴油机设计与制造.1997,(2),58~63
[34] 邱宣怀等．《机械设计》．北京：高等教育出版社．1998
[35] 陈红军,邱宝年.解决齿轮轮齿断裂问题的有效方法.机械传动.2002,26(3):52~53
[36] 肖宏滨,邵尔玉.表面复合强化对疲劳性能的影响.中国表面工程.1999,12(2):11~14
[37] 傅志红,张凯.齿面接触疲劳点蚀分析.株洲工学院.1995,9(3):57~60
[38] 赵菊初.渐开线直齿圆柱齿轮胶合承载能力计算.机械设计.2001,18(11):29~33
[39] 李宝良,王松年.齿轮磨损理论计算的研究.大连铁道学院学报.1993,14(3):95~98
[40] 孙振运. 齿轮塑性变形分析.汽车齿轮.1993,(4),48~50,47
[41] 张恒华,许珞萍.整体淬火和感应淬火.国外热处理.2000,21(3).13~17
[42] 刘德顺,赵西龙.小型高频机进行大模数齿轮的表面淬火.电讯工程.1994,(2):38~41
[43] 郑润娥.齿轮渗碳及渗碳材料应用.机械制造.2001,39(4):36~38
[44] 谈嘉祯，傅德明．25Cr2MoV离子渗氮齿轮疲劳强度的试验．北京科技大学学报．1994,16(3)：266~269
[45] 张津,黄奇.离子渗氮与离子镀复合处理研究.现代制造工程.2002,(10):9~11
[46] 王忠凯.汽车齿轮碳氮共渗工艺的研究.金属热处理.1998,(3):41~42
[47] 王丽莲.渗氮技术及其进展.热处理.2001,(2):6~9
[48] 李朝志.气体渗氮的新发展.国外金属热处理.1995,16(4):40~43
[49] 李建华,潘德仁.QPQ盐浴复合处理新工艺.轴承.1999,(11):28~30
[50] 刘明成,陈维英.离子渗氮技术的发展.金属热处理.1992,(5):11~13,27
[51] 梁军,卢艳君.离子渗氮技术的研究和工艺.机械设计浴制造.2001,(1)：73~74
[52] 卢旭晨等．陶瓷薄膜的制备及应用．材料导报．1999,13(6)：35~38
[53] 韩晓毅.直流二极型离子镀膜机测温装置的设计.表面技术. 1997,26(3),28~29
[54] 潘俊德,田林海.电子浴辅助阴极电弧源活性反应离子镀合成AIN薄膜.热加工工艺,
2000,(4),22~24
[55] 程敏.空心阴极离子镀膜技术.表面技术.1997,26(4),37~39
[56] 周细应, 陈凯旋. 外加磁场对多弧离子镀阴极弧源镀膜性能的影响.国外金属加工.
1993.(4).58~62
[57] Shengli Ma,Yanhuai Li,Kewei Xu．The Composite of nitrided steel of H13 and TiN coatings by plasma duplex treatment and the evvect of pre-nitriding. Surf. Coat. Technol.2001，137：116~121
[58] N.Dingremont,A.Piannelli,E.Bergmann,H.Michel．Analysis of the compatibility of plasma-nitrided steels with ceramic coatings deposited by the ion-plating technique. Surf. Coat. Technol.1993，61：187~193
[59] 郭志德等.《齿轮的失效分析》.北京：机械工业出版社.1992
[60] 周上祺 范秋林. 快速深层渗氮工艺的设计.金属热处理,1998,(3)：2~4
[61] 刘清平,曲敬信等.多弧离子镀(Ti,Cr)N膜层工艺及性能.机械工程材料, 002,26(3),20~22,40
[62] 刘渤,左演声. 遗传算法应用于多弧离子镀膜工艺优化设计. 电子工艺技术,2000,21(3)：115~117
[63] 刘国华等. 遗传算法在材料设计中的应用. 材料导报,2001,15(8)：10~12
[64] 孙荣恒,黄雯莹,伊亨云.《数理统计》. 重庆：重庆大学出版社1999
[65] 胡树兵,崔崑. 划痕试验法的物理模型及研究现状. 湖北汽车工业学院学报．
2001,15(1)：29~32
[66] Attar F, Johannesson T. Adhesion evaluation of thin ceramci coatings on tool steel using the Scratch testing technique. Surface and Coatings Technology. 1996,78,87~102
[67] Tomellini M. On the work of adhesion of film-substrate solid juctions. Thin Solid Films, 1991,202：227~234
[68] Yong SUN.Plasma nitriding and PVD ceramic coating of low alloy steel:[博士论文].
Department of Metallurgy and Materials university of Birmingham
[69] 邓洋,徐冰仲,曾耀新. 《离子氮化》初稿. 铁道部科学研究院金属及化学研究所, 1992
[70] 钟厉,韩西,周上祺. 氨流量对离子氮化层的影响. 金属热处理. 1997(9)：17~18
[71] 张津.工业纯铁及碳钢离子氮化缓冷时效的研究.[硕士学位论文].重庆：重庆大学材料科学与工程学院
[72] 吴一平等. 多弧离子沉积(Ti,Al)N薄膜的制备工艺. 兵器材料科学与工程. 1995,18(5)：25~29
[73] 周细应,万润根等. TiN涂层的工艺分析. 南昌大学学报. 1994,16(3)：30~35
[74] 遇衍澄. 离子镀技术的发展与现状. 薄膜科学与技术. 1995,8(3)：240~249
[75] 孙伟等. 多弧离子镀沉积温度对TiN涂层性能的影响. 电加工与模具. 2000,(5)：26~28
[76] 宫秀敏，叶卫平等．TiN多弧离子镀涂层质量与X射线衍射图谱．金属热处理．2000, 27(2)：13~17
[77] 周细应,万润根等．TiN涂层的正交设计工艺分析．热加工工艺．1996，(4)：22~23
[78] Volvada V．Structure of TiN Coatings．Surf. Coat. technol．1996,80：61~65
[79] 薛钰芝，林纪宁等．氮分压对TiN离子镀层影响的研究．大连铁道学院学报．1998, 19(1)：25~30
[80] Koutev J, Pascova R, Weimantel E．Arc vaporated TiN films with reduced microparticle contamination.Thin Solid Films.1996,(287)：202~207
[81] Tuma D T, Chen C L, Davies D K．Erosion products from the cathode spot region of a copper vacuuma arc．Apl. Phys. 1978,49：3821
[82] 徐新乐．多弧离子镀用于制备高质量的Ti-N膜．材料保护. 2000,33(8)：28~30
[83] 谢飞等．氮化－气相沉积硬质薄膜复合处理技术与应用．机械工艺师．1997, (7)：29~30
[84] Rickerby DS, Bull SJ．Engineering with surface coating: The role of coating microstructure．Surf. Coat. technol．1989,39-40：315~328
[85] 孙伟等．多弧离子镀TiN涂层结合力的影响因素．材料保护．2000,33(8)：31~33
[86] Wilson S,Alpas A T. TiN coating wear mechanism in dry sliding against high speed steel. Surf. Coat. Technol.1998,108-109：369~376
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