基于MEMS技术的太赫兹可调波导带阻滤波器

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• 英文论文题名：Terahertz Tunable Waveguide Bandstop Filter with MEMS Technology
• 论文作者：宣祖好 ; 胡江
• 英文论文作者：XUAN Zu-hao ; HU Jiang ; Fundamental Science on EHF Laboratory ; University of Electronic Science and Technology of China
• 年：2016
• 作者机构：电子科学大学极高频复杂系统国防重点学科实验室;
• 论文关键词：太赫兹波 ; Bimorph结构 ; 微执行器 ; 带阻滤波器
• 英文论文关键词：Terahertz waves ; Bimorph structure ; microactuator ; bandstop filter
• 会议召开时间：2016-08-17
• 会议录名称：2016年全国军事微波、太赫兹、电磁兼容技术学术会议论文集
• 语种：中文
• 分类号：TN713.5
• 学会代码：WBXB
• 会议名称：2016年全国军事微波、太赫兹、电磁兼容技术学术会议
• 会议地点：中国陕西西安
• 主办单位：中国电子学会微波分会、天线与微波技术重点实验室
• 学会名称：《微波学报》编辑部
• 页数：3
• 文件大小：521k
• 原文格式：D
• 会议级别：全国

摘要

本文提出了一种基于双层弯曲热微执行器的新颖的调谐方式,太赫兹带阻滤波器采用波导加载金属块的形式。双层弯曲热微执行器驱动金属膜片移动,利用可动金属膜片改变波导中加载金属块周围的电磁场分布达到调谐的目的。设计了一款中心频率为275.1 GHz的可调带阻滤波器,仿真结果显示,双层弯曲热微执行器产生180μm位移时,滤波器实现了中心频率23.2 GHz的调谐范围,反射衰减由24.7 d B变化到15.9 d B。
This paper presents a novel terahertz waveguide bandstop filter, based on Bimorph microactuator, by loading metal block. The movable metal film driven by Bimorph microactuator can perturb the electromagnetic distribution around the metal block loaded in the waveguide and change its resonance frequency. The designed tunable waveguide bandstop filter operating at 275.1 GHz achieves a tuning range about 23.2 GHz, when the Bimorph microactuator provides a continuous displacement of 180 μm, with the reflection attenuation varying from 24.7 d B to 15.9 d B.

引文

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