基于气浮轴承的触针式测量传感器的研究

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• 论文作者：汪俊伟
• 年：2016
• 作者机构：华中科技大学;
• 会议召开时间：2016-09-25
• 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
• 语种：中文
• 分类号：TP212;TH133.3
• 学会代码：GNCS
• 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
• 会议地点：中国上海
• 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
• 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
• 页数：1
• 文件大小：10106k
• 原文格式：D
• 会议级别：全国

摘要

<正>本文针对传统的杠杆触针式位移传感器存在的非线性误差和测量力不恒定的问题,提出了一种基于气浮轴承的触针式位移传感器。该传感器基于迈克尔逊干涉原理,采用了触针轴垂直放置的结构形式,在垂直方向上直接计量被测位移,从而消除了非线性误差,符合阿贝原理。同时,气浮轴承作为导向机构,避免了触针轴与周围

引文