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基于构造运动光场匀速扫描的高精度位移传感器研究
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摘要
<正>针对光学位移测量中制作工艺要求高、技术难度大、制造成本高等缺陷,提出一种用光场强度时空调制产生运动光场匀速扫描的测量方法。该方法借鉴旋转磁场产生原理,在光学领域通过对光场强度的时间和空间的精确控制,获取一种高精度的人为构造的运动光场,利用运动光场匀速扫描的测量原理,实现高精度位移测量。详细推导了传感器的测量模型,分析并仿真了与传感机理相关的关键因素对测量误差的影
引文

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