隔热笼开度对高效多晶硅定向凝固的影响

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英文篇名：Effects of Opening Heat Insulation Cage on High-efficiency Polycrystalline Silicon Ingot Directional Solidification 作者：李天佑 ; 费宏明 ; 杜海文 ; 王锋 ; 周社柱 ; 张明达 ; 杨毅彪 英文作者：LI Tianyou;FEI Hongming;DU Haiwen;WANG Feng;ZHOU Shezhu;ZHANG Mingda;YANG Yibiao;College of Physics and Optoelectronics, Taiyuan University of Technology;The Second Research Institute of CETC; 关键词：多晶硅 ; 半熔工艺 ; 籽晶界面 ; 隔热笼开度 英文关键词：polycrystalline silicon;;half melting technology;;seeds crystal interface;;opening of heat insulation cage 中文刊名：ZZJS 英文刊名：Foundry Technology 机构：太原理工大学物理与光电工程学院;中国电子科技集团公司第二研究所; 出版日期：2018-05-18 出版单位：铸造技术 年：2018 期：v.39;No.314 基金：山西省自然科学基金(2016011048) 语种：中文; 页：ZZJS201805041 页数：4 CN：05 ISSN：61-1134/TG 分类号：138-140+144

摘要

采用高效多晶半熔工艺,实验对比了隔热笼开度为2 cm和8 cm两种工艺下的籽晶界面保留及硅锭内部硬质点和少子寿命的分布。结果表明,采用隔热笼开度为8 cm工艺,避免了硅料熔化过程中坩埚底部籽晶熔化而导致引晶效果不佳的问题,保证了硅锭较高的效率。
        The high-efficiency polycrystalline silicon semi-melting technology was adopted, the retain of seeds crystal interface, the inner hard spots within the silicon ingot and the lifetime distribution of minority carrier in the two kinds of processes of the heat insulation cage of 2 cm and 8 cm were compared. The results show that the opening of the heat insulation cage of 8 cm avoid the melting question of seed crystal materials which will lead to poor performance of crystal growth of guidance during the progress of silicon crystalline growth at the bottom of crucible during the process of polycrystalline silicon melting, and it also ensures the high efficiency of silicon ingot.

引文

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