摘要
本文研究了氮化-离子镀TiAlN膜复合处理工艺与未氮化离子镀TiAlN膜处理工艺对钛合金表面力学性能、海水环境下的摩擦学的影响.采用SEMS4800、XRD、XPS、纳米压痕仪,观察了薄膜的表面及截面形貌、化学成分和元素化学价态,分析了氮化后的钛合金表面、单层涂层及复合涂层的相组成变化,测试样品硬度随深度的变化等.结果表明,复合涂层氮化后基底硬度增加,薄膜硬度下降速度慢,有利于提高涂层的耐磨性,且复合涂层中择优取向(200)晶面明显,在海水润滑作用下,短时间摩擦过程中复合涂层的磨损量最小.