MEMS器件自动优化算法

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• 作者：赖文滨李伟华
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：MEMS器件 ; 自动优化算法 ; 结构参数 ; 悬臂梁
• 作者单位：东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,南京,210096
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

本文研究了MEMS器件结构参数的自动优化算法及其实现技术.以悬臂梁的谐振频率指标为例,通过TSPICE软件,模拟其在给定初始结构参数下的谐振频率,算法自动完成指标分析并选取适当的修正步长,采用恰当的参数修正算法对器件结构参数进行优化,通过循环迭代直至满足用户频率指标和精度指标要求.最后采用CoventorWare软件对优化结果进行了验证.