碳化硅粉体合成技术研究进展

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• 作者：戴培赟李晓丽王泌宝傅晓庆
• 会议时间：2013-09-25
• 关键词：碳化硅粉体 ; 合成工艺 ; 技术创新
• 作者单位：潍坊工商职业学院 山东诸城262234
• 母体文献：2013耐火材料综合学术会议、第十二届全国不定形耐火材料学术会议、2013耐火原料学术交流会论文集
• 会议名称：2013耐火材料综合学术会议、第十二届全国不定形耐火材料学术会议、2013耐火原料学术交流会
• 会议地点：洛阳
• 主办单位：中国金属学会
• 语种：chi
• 分类号：TQ1;TH1

摘要

高纯超细的碳化硅粉体是制备高性能碳化硅器件的重要前提,本文重点总结了近年来碳化硅粉体合成工艺的最新进展,固相法包括碳热还原法、燃烧合成法、机械合金化法等,液相法包括溶胶-凝胶法、聚合物热分解法,气相法包括化学气相沉积法、等离子体法.指出了存在的主要问题,并展望了今后的发展方向.