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宽带减反膜的制备与试验研究
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  • 作者：陈涛
  • 会议时间：2010-10-01
  • 关键词：宽带减反膜 ; 制备工艺 ; 膜层致密性 ; 牢固度
  • 作者单位：山东北方光学电子有限公司 山东泰安271000
  • 母体文献：2010微制造技术及数字化工艺学术研讨会论文集
  • 会议名称：2010微制造技术及数字化工艺学术研讨会
  • 会议地点：北京
  • 主办单位：中国兵工学会
  • 语种：chi
  • 分类号：O48;TB4
摘要
本文对宽带减反膜的制备工艺进行论述,选择光学薄膜材料,要考虑材料的透明度、吸收性、折射率、机械牢固度和化学稳定性等。根据镀膜要求及常用镀膜材料的光学参数得到初始膜系结构,并对膜层致密性及牢固度进行了初步分析.

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