偏压对二硫化钨膜成分及摩擦磨损性能的影响

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• 作者：王月温培刚孟祥宇王非王文生
• 会议时间：2015-04-01
• 关键词：固体润滑膜 ; 二硫化钨 ; 偏压工艺 ; 硫钨比 ; 摩擦学性能
• 作者单位：王月,孟祥宇,王非,王文生(北京机械工业自动化研究所 100120)温培刚(中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 100095)
• 母体文献：第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会论文集
• 会议名称：第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
• 会议地点：重庆
• 主办单位：中国机械工程学会表面工程分会青年工作委员会
• 语种：chi
• 分类号：O48;O53

摘要

采用ZDH-100型离子束辅助沉积设备制备WS2-Ag复合薄膜,基材为9Cr18Mo轴承钢和单晶硅(100).采用扫描电子显微镜测试了不同偏压工艺的膜层形貌;采用EDS能谱仪测试不同偏压工艺的膜层成分,界面结构,膜层厚度.采用球-盘式摩擦磨损试验机研究薄膜在常温环境中的摩擦学性能.结果表明:偏压的变化对膜层成分影响很关键,随着偏压的升高硫钨比逐渐降低,且摩擦磨损性能具有先降低后升高的趋势.