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聚酰亚胺衬底硅基薄膜太阳电池及组件研制
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摘要
利用卷绕式PECVD(等离子体辅助化学气相沉积)设备在25μm厚的聚酰亚胺衬底上连续沉积a-Si/a-SiGe双结电池,解决了设备中不同反应腔室的氢气隔离问题,优化了薄膜沉积的工艺条件,将薄膜的不均匀性控制在5%以内.采用激光划线和丝网印刷研制高电压集成组件,并用层压的方法获得适用于临近空间环境的组件.通过优化电池结构,研制出效率达到6.50%(AM0,1353W/m2,25℃)的硅基薄膜太阳电池;将电池进行组合后,获得工作电压超过50V的高电压柔性电池组模块.

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