基于遗传算法的平面双稳态柔性MEMS的优化设计

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• 作者：李团结朱敏波文群燕
• 会议时间：2001-11-01
• 关键词：双稳态机构 ; 柔性机构 ; MEMS ; 伪刚体模型 ; 遗传算法 ; 稳定性分析
• 作者单位：西安电子科技大学机电工程学院
• 母体文献：2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集
• 会议名称：2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会
• 会议地点：苏州
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

本文讨论一种平面双稳态柔性MEMS的设计问题.首先给出机构稳定平衡位置的物理含义,柔性机构中常用的两种柔性单元及其相应伪刚体模型,建立两种类型平面双稳态柔性MEMS的伪刚体模型.提出一种允许随意指定稳定平衡位置点的具有较大自由度的优化设计方法,建立优化数学模型及相应约束准则,采用改进的遗传进化算法获得全局最优解.根据所得最优解对双稳态柔性MEMS进行分析,结果表明该设计方法有效.