微机械结构的一种大规模生产方法-LIGA技术

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：伊福廷
• 会议时间：2014-11-08
• 关键词：微机械结构 ; 光刻电铸注塑技术 ; 同步辐射光源
• 作者单位：高能物理研究所同步辐射室,北京 100049
• 母体文献：2014年全国电火花成形加工技术研讨会论文集
• 会议名称：2014年全国电火花成形加工技术研讨会
• 会议地点：西安
• 主办单位：中国机械工程学会特种加工分会
• 语种：chi
• 分类号：TN4;TB3

摘要

LIGA技术自其发明和公开报道已有几十年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统-MEMS(Micro electromechanical System)加工热潮.经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1mm以上,是其他任何加工技术所不能够相比的.这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础.该技术的目标是制造模具,用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具.但由于注塑和模压工艺的问题,以及同步辐射光源的普及,更多的LIGA技术采用了直接利用同步辐射进行机械结构零件的生产,即所谓的直接LIGA技术,北京同步辐射LIGA技术就是选用了直接LIGA技术工艺.经过多年的努力,北京同步辐射LIGA技术取得了长足的进步,已在许多领域得到了应用.