磁控溅射含Ti非晶碳膜的微观结构分析

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• 出版年：2008
• 作者：杜军；张平；何家文
• 单位1：北京装甲兵工程学院装备再制造技术国防科技重点实验室
• 出生年：1978
• 学历：博士
• 职称：讲师
• 语种：中文
• 作者关键词：碳膜：碳键结构：微观结构：非晶
• 起始页：633
• 总页数：4
• 刊名：稀有金属材料与工程
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国有色金属学会；中国材料研究学会；西北有色金属研究院
• 主编：殷为宏
• 地址：北京市东黄城根北街16号
• 邮编：100717
• 电子信箱：rmme@c-nin.com
• 网址：http://www.c-nin.com
• 卷：37
• 期：4
• 期刊索取号：P/822.06/141-1
• 数据库收录：国家重点学术期刊；首届国家期刊奖；中国优秀科技期刊一等奖；中国有色金属工业；优秀科技期刊一等奖；中国期刊方阵双奖期刊；陕西省优秀科技期刊特等奖；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库文献源；中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊；中国学术期刊光盘版入网刊物；美国ISI数据库用刊（SCI Expanded®，Research Alert® Materials Scicnce Citation Index®）；美国工程索引（EI）文献源期刊；美国化学文摘(CA)文献源期刊；英国科学文摘(I

摘要

用磁控溅射方法制备了含Ti4at%，18at%，27at%的非晶碳膜。用XPS分析了含Ti18at%碳膜的碳键结构、化合物组成。结果发现：碳膜的C1s峰在284eV附近，碳膜中sp²：sp³=14.6：6.3，sp²占明显优势，碳键结构以sp²为主：Ti²p谱的455.2eV处的峰对应TiC，说明形成了TiC。用XRD对含Ti 4at%，18at%，27at%碳膜进行物相分析。结果发现：含Ti18at%和27at%时，都存在TiC（111），TiC（200）和TiC（220）晶向，但27at%的Ti（111）取向更加明显；4at%时，没有发现TiC相。TEM的分析结果证明，含Ti18at%的碳膜在非晶的基体上分布有TiC的颗粒。四点探针法（FPM）测定3种非晶碳膜的电阻率分布在9×10^-5～2×10^-4Ω.m之间，随着Ti含量的增加，电阻率减小。可以认定：磁控溅射制备的碳膜是碳键结构以sp2为主的非晶碳膜，加入一定量Ti后，在非晶的基体上形成Ti化合物的晶体颗粒。