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薄膜温度传感器敏感功能膜
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  • 出版年:2005
  • 作者:王小军;李义兵;周继承
  • 单位1:中南大学物理学院
  • 出生年:1982
  • 学历:硕士研究生
  • 语种:中文
  • 作者关键词:温度传感器;功能薄膜;高温;热敏
  • 起始页:67
  • 总页数:4
  • 经费资助:国家自然科学基金资助项目(60171043;60371046)
  • 刊名:材料导报
  • 是否内版:否
  • 刊频:月刊
  • 创刊时间:1987
  • 主办单位:科学技术部西南信息中心
  • 主编:彭丹
  • 地址:重庆市渝中区胜利路132号
  • 邮编:400013
  • 电子信箱:mat-rev@163.com;matreved@163.com
  • 网址:http://www.mat-rev.com
  • 卷:19
  • 期:4
  • 期刊索取号:P822.06 432
  • 数据库收录:全国中文核心期刊;中国科学引文数据库来源期刊;中国科技论文统计源期刊
  • 核心期刊:全国中文核心期刊
摘要
综述了目前国内外薄膜温度传感器敏感功能膜的制备方法、分类、结构、性质等,着重阐述了金属温度敏感膜的研究现状,并详细介绍了高温薄膜温度敏感器件的研究进展,最后论述了薄膜温度敏感器目前需要解决的一些问题。

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