振动测量用叉指式硅微加速度计性能研究

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• 出版年：2007
• 作者：杜敏；林玮；路鹏；李建利
• 单位1：防灾科技学院
• 出生年：1978
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：振动观测；微机电；加速度计；有限元分析（FEA）；模态
• 起始页：248
• 总页数：5
• 经费资助：校级基金项目（06310）
• 刊名：地震工程与工程振动
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1981
• 主管单位：中国地震局
• 主办单位：中国力学学会； 中国地震局工程力学研究所
• 主编：谢礼立
• 地址：哈尔滨市学府路29号
• 邮编：150080
• 电子信箱：eeevc@vip.0451.com
• 网址：http://zzs.iem.cn
• 卷：27
• 期：06
• 期刊索取号：P473.06208-1
• 数据库收录：中国核心期刊（遴选）数据库源刊；中国学术期刊综合评价数据库源刊
• 核心期刊：中国期刊方阵双效期刊；中国自然科学核心期刊

摘要

硅MEMS加速度仪可以用于地震以及各种工程振动的测量，目前其精度较低，温度灵敏度较高，为了掌握MEMS加速度计的特性，提高其实用性能，本文介绍了一种叉指式硅微机械加速度计(FMSA)表头微结构和系统的工作原理，推导了微结构梁的刚度，利用ANSYS有限元软件分析了FM-SA加速度计的静态特性、动态特性和温度特性，验证了推导的正确性，说明微结构参数是决定FMSA加速度计性能的主要因素，为改进加速度计性能提供了依据，并对其在振动观测领域实际应用提供了理论指导。