Cr离子高温注入Al靶的传质模型

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• 出版年：2004
• 作者：常海威；陈涛；雷明凯
• 单位1：大连理工大学材料工程系
• 出生年：1978
• 学历：博士生
• 语种：中文
• 作者关键词：高温离子注入；Monte Carlo模拟；扩散
• 起始页：629
• 总页数：5
• 经费资助：高等学校优秀青年教师教学和科研奖励计划项目
• 刊名：金属学报
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1956
• 主办单位：中国金属学会
• 主编：柯俊
• 地址：沈阳文化路72号
• 邮编：110016
• 电子信箱：jsxb@imr.ac.cn
• 网址：www.imr.ac.cn
• 卷：40
• 期：6
• 期刊索取号：P750.66 350
• 数据库收录：国家自然科学基金专项资助期刊；《金属学报》荣获第二届《国家期刊奖》和中国科协第三届优秀期刊一等奖

摘要

利用注入离子在固体中传输理论和辐照增强扩散理论建立了金属离子高温注入金属Al靶的传质模型，计算了金属离子高温注入的浓度一深度分布.在所建立的传质模型中采用动态Monte Carlo方法模拟离子注入过程，引入饱和浓度限模拟晶体靶局部饱和现象；采用基于辐照增强扩散的扩散方程描述注入粒子扩散过程；根据缺陷线性退火理论确定辐照增强扩散系数；结合杂质原子和非平衡空位扩散方程给出了注入粒子的浓度分布；在扩散方程中引入了空位源函数并考虑了离子溅射造成的表面退让效应.针对离子能量140keV，注入剂量2x10¹⁷cm^-2，温度250，400和510℃的Cr离子注入Al靶计算得到的浓度一深度分布与实验结果相符.